(ELECTRON PROBE MICRO ANALYZER (EPMA ایده اولیه و فکر تولید EPMA به آقای هیلر(1940) برمی گردد. بعدها این ایده توسط گاینیر و لستینگ (1949) عملی شد. دستگاه تولید شده microsond electronique نامیده شد. هدف طرح، بدست آودن یک آنالیز شمیایی کمی در روی میکروسکوپ های الکترونی بود. اولین دستگاه تجاری در فرانسه بنام CAMECA تولید شد و در دهه ی پنجاه سراسر آزمایشگاه های آمریکا و اروپا را در برگرفت. این دستگاه یک باریکه الکترونی با بزرگنمایی 1/10 تا 1 میکرومتر ایجاد می کند و ...