لیتوگرافی نوری یا طرح نگاری نوری (به انگلیسی: Photolithography ) در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم) روی سطح زیرلایه، پرتو همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد میکند. در فرایند طرح نگاری نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین میشوند؛ این فرایند بسیار شبیه به مهرسازی ...