SEM یا میکروسکوپ الکترونی روبشی یکی از مدرنترین و بهترین دستگاه های ساخته شده برای مطالعه و آنالیز مواد است. این دستگاه از سال 1965 بصورت تجاری عرضه شده و ساختار سطح مواد را به آسانی می توان با آن مطالعه نمود. نحوه کار این دستگاه بدین شرح است: پرتو الکترونی در نقطه ای به قطر حدودAْ100 متمرکز می شود و سطح را در یک راستا جارو می کند. الکترونهای گرفته شده از سطح جمع آوری شده و از یک الکترودالکترواستاتیکی به سینتیلاتور با یاس شده متمرکز می شوند. نور متصاعد شده به فتو مالتی پلایر برخورد کرده و ...